Buvat P.

Thursday 10
E. Low Pressure Plasmas and Applications
Chair: Z. Petrovic - Each talk is 10'+2' duration
› 14:55 - 15:10 (15min)
› Blaise
Time resolved study of the HiPIMS post-discharge
Stéphane Cuynet  1, *, @  , Maria Palmucci  2  , Amael Caillard  3, @  , Thomas Lecas  1, @  , Anne Lise Thomann  4, @  , Pascal Brault  5, @  , J. Bigarré  6  , P. Buvat  6  
1 : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés  (GREMI)  -  Website
CNRS : UMR7344, Université d'Orléans
14 Rue d'Issoudun - BP 6744 45067 ORLEANS CEDEX 2 -  France
2 : Materia Nova Research Center
Parc Initialis Avenue N. Copernic 1 B-7000 Mons -  Belgium
3 : Groupe de Recherches sur l'Energétique des Milieux Ionisés  (GREMI)  -  Website
CNRS : UMR7344, Université d'Orléans
14 rue d'Issoudun, BP 6744 45067 ORLEANS Cedex 2 FRANCE -  France
4 : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés  (GREMI)  -  Website
CNRS : UMR7743, Université d'Orléans
14 Rue d'Issoudun - BP 6744 45067 ORLEANS CEDEX 2 -  France
5 : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés  (GREMI)
CNRS : UMR7344
6 : CEA Le Ripault  (CEA Le Ripault)
CEA
BP 16 37260 Monts -  France
* : Corresponding author

This study deals with the investigation of post-discharges resulting from a pulsed magnetron sputtering process. To vary the working conditions in a large range, different sputtering targets and gases are used. The diagnosis of the post-discharge is mainly achieved by a Retarded Field Energy Analyzer (RFEA) and a mass spectrometer. These two techniques enable time resolved characterization of the post-discharge. The study will focus on the ion beam collected under specific HiPIMS regimes as well as the influence of the sputtering target material.

Subject : : Oral
Topics : E. Low Pressure Plasmas and Applications
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